ソーラーウェーハのような方向性凝固モノ単結晶シリコンウェーハや多結晶シリコンウェーハと比較して、変換効率が比較的高く、製造コストが低いため、代替ウェーハ材料として有望です。しかし、結晶品質を改善し、製造コストを削減する余地はまだ大きく、ウェーハを太陽光発電産業に実際に押し込む可能性があります。
1 材料特性
物件 | 仕様 | 検査方法 |
成長法 | 方向性凝固 | XRD |
結晶化度 | 単結晶 | 優先エッチングテクニック（ASTM F47-88） |
導電率タイプ | Pタイプ | ナプソンEC-80TPN P/N |
ドーパント | ホウ素、ガリウム | - |
酸素濃度[Oi] | ≦1E+17at / cm3 | FTIR（ASTM F121-83） |
炭素濃度[Cs] | ≦1E+18at / cm3 | FTIR（ASTM F123-91） |
2 電気的特性
物件 | 仕様 | 検査方法 |
抵抗率 | 0.5-2Ωcm（アニール後） | ウェーハ検査システム |
MCLT（マイノリティキャリアライフタイム） | ≧10 μs | シントンQSSPC |
3 ジオメトリ
物件 | 仕様 | 検査方法 |
ジオメトリ | 正方形または長方形 | ウェーハ検査システム |
ベベルエッジ形状 | ライン | ウェーハ検査システム |
ウェーハサイズ （側面の長さ*側面の長さ） | 156mm * 156mm 157mm * 186mm 166mm * 166mm | ウェーハ検査システム |
隣接する側面間の角度 | 90±3° | ウェーハ検査システム |
